Сканирующая зондовая микроскопия позволяет получать цифровое трёхмерное изображение поверхности (атомарной решётки, живой клетки, интегральной микросхемы, структуры полимера и т.д.) и её локальных характеристик с высоким разрешением. Процесс построения изображения основан на сканировании поверхности зондом.

Технические характеристики:

• Разрешение - 0,2 нм по осям X, Y, 0,01 нм по оси Z,
• перемещение детектирующей системы - источник света / оптический рычаг / детектор,
• непрерывное освещение кантилевера лазерным диодом, даже при смене образца,
• фотодетектор,
• сканер с трубчатым пьезоэлектрическим приводом, диапазоны сканирования:

- 30 мкм x 30 мкм x 5 мкм (стандартная комплектация),
- 125 мкм x 125 мкм x 7 мкм (опция),
- 55 мкм x 55 мкм x 13 мкм (опция),
- 2,5 мкм x 2,5 мкм x 0,3 мкм (опция).

• магнитный зажим для фиксации образца,
• механизм скольжения головки со встроенной системой перемещения детектора и кантилевером. Смена образца без удаления кантилевера,
• максимальные размеры образца - 24 мм*8мм,
• полностью автоматический, независимый от толщины образца механизм настройки,
• по оси Z c шаговым двигателем, максимальный ход - 10 мм,
• антивибрационная система, встроенная в блок SPM,
• возможность заменять образцы без удаления держателя кантилевера,
• доступность образца во время измерения,
• высота образца настраивается автоматически, независимо от его толщины.

Стандартные режимы работы:

• Контактный режим,
• режим латеральных сил,
• динамический режим,
• фазовый режим,
• режим силовой модуляции,
• силовая кривая.

Опциональные режимы работы:

• Режим проводимости,
• режим поверхностного потенциала (кельвин-микроскопия),
• магнитно-силовой режим (магнитно-силовая микроскопия),
• силовое картирование,
• режим векторного сканирования,
• режим сканирования в слое жидкости,
• электрохимическая атомно-силовая микроскопия.

Опции для расширения возможностей SPM-9700:

• Оптический микроскоп с цифровой камерой,
• волоконно-оптический осветитель,
• блоки широко/узко-форматного и глубинного сканирования,
• климатическая камера с нагревателем образцов, контролем температуры, влажности и газового состава атмосферы,
• программа анализа распределения частиц по размерам.

Принцип работы:

В СЗМ исследование микрорельефа поверхности и ее локальных свойств проводится с помощью специальным образом приготовленных зондов в виде игл. Рабочая часть таких зондов (кантилевер) имеет размеры порядка 10 нанометров. Характерное расстояние между зондом и поверхностью образца в зондовых микроскопах по порядку величины составляет 0,1-10 нм. С помощью операционной системы компьютера это расстояние пропорционально связано с электромагнитным параметром взаимодействия между зондом и поверхностью образца и поддерживается постоянным по принципу отрицательной обратной связи. Таким образом, малейшее изменение расстояния между зондом и сканируемой поверхностью отражается на изменении связанного с ним параметра, который поддерживается оператором на заданном уровне, благодаря чему зонд отклоняется на пропорциональное заданному параметру расстояние.Функция перемещения зонда записывается в память компьютера и формирует изображение посредством компьютерной графики. В современных зондовых микроскопах точность удержания расстояния зонд - поверхность достигает величины ~ 0,01 А.

Возможности сканирующей зондовой микроскопии:

• Получение трехмерного изображения рельефа поверхности образцов металлов, полупроводников, керамики, макромолекул и биологических объектов с увеличением в несколько тысяч или миллионов раз, что используется в материаловедении, полупроводниковой промышленности, биологии, медицине, при физических и химических исследованиях.

• Измерение значения следующих физических свойств поверхности с пространственным разрешением в доли нанометра:

- механических (силу трения, адгезию, жесткость, эластичность),
- электрических (потенциал, проводимость),
- магнитных (распределение намагниченности).

	Разнообразие методов визуализации 3D изображения с помощью SPM-9700 Используйте мышь для изменения масштаба и свободного вращения изображений или изменения увеличения по оси Z. Это позволяет визуализировать полученные данные различными способами, подтверждая эти данные в режиме реального времени.
	Функция текстуры Информация о высоте может быть наложена на информацию о физических свойствах. Это позволяет ясно показать соотношения между двумя параметрами.
	Анализ профилей поперечного сечения В 3D изображениях можно анализировать профили сечения. Если информация о физических свойствах выражена в терминах текстуры, соответствующие профили сечения могут быть показаны и проанализированы в том же месте.